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石英掩膜版
苏打玻璃常用在STN-LCD、TN-LCD、FED、EL行业专用光学掩模版基材
类别 石英掩膜版
常规尺寸(mm) 3"X3", 4"X4", 5"X5", 6"X6", 7"X7", 9"X9", 12"X12", 14"X17", 16"X18",20”x24”
450mm×550mm,400mm×400mm, 700mmX800mm
最大尺寸(mm) 850*1200
特殊尺寸(mm) 按客户要求定做(XY=20~609mm)
基材厚度(mm) 2.3  3.0  5.0    6.4    8.0
铬膜类型    ARC Anti-Reflective Chrome
热性能(℃) 1730℃
温度收缩系数 5.0*10-7 /℃ (20~200℃)
透过率 >90%(T=2.3mm;l=200nm)
折射率 1.46
垂直入射反射率 约2%(片面反射约1%)
耐酸性能 H2SO4(80℃,98%) 0.0Å/min
耐碱性能 NaOH(Wt2%)0.4Å/min
表面平整度 <20um(400*400*3.0mm)

小尺寸铬版(≤9英寸)
类别 超高精度/高精度(228.6mm*228.6mm) 中精度/低精度(228.6mm*228.6mm)
线缝尺寸
(μm)
线缝精度
(μm)
垂直度
(urad)
总长精度
(μm)
位置精度
(μm)
线缝尺寸
(μm)
线缝精度
(μm)
垂直度
(urad)
总长精度
(μm)
位置精度
(μm)
石英 ≥1 ≤0.5 ≤0.5 <0.3 ≤0.1 ≥3 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.2

大尺寸铬版(>9英寸)
类别 超高精度/高精度(400mm*450mm) 中精度/低精度(400mm*450mm)
线缝尺寸
(μm)
线缝精度
(μm)
垂直度
(urad)
总长精度
(μm)
位置精度
(μm)
线缝尺寸
(μm)
线缝精度
(μm)
垂直度
(urad)
总长精度
(μm)
位置精度
(μm)
石英 ≥2 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.75 ≤0.5 ≥5 ≤1 ≤1 ≤1 ≤0.75
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