MEMS加工

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外延生长·掺杂
  • 金属有机物化学气相沉积
    GaN,GaAs
  • 化学气相沉积
    SIC
  • 离子注入
    B,P,F,Al,N,Ar,H,He,Si
  • 高温氧化
    1150℃
  • 高温扩散/退火
    900℃-1100℃
  • 快速退火
    150℃-1000℃

案例展示


                                                    

                                         Diamond-coated wafers                                                                                      晶圆圆片长膜、图形化



微纳加工中晶圆的基本原料是什么?
微纳加工中晶圆的基本原料是什么?

2023-02-01

微纳加工中的硅从石英沙精练出来,对硅元素加以纯化便晶圆,它的纯度可以达到百分之九十九,接下来是将些纯硅制成硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导...

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微纳技术制造的未来发展与趋势
微纳技术制造的未来发展与趋势

2022-12-15

制造业的发展,目前对加工精度的的要求越来越高,微纳制造伴随着应运而生。截至到目前为止,微纳技术在国防军工及民用产品已经得到广泛应用,特别体现...

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MEMS设计微流控芯片
MEMS设计微流控芯片

2022-07-15

微流控芯片我们常见的特点就是可以多种单元技术在整体可控的微小平台上灵活组合,规模集成。MEMS设计微流控芯片是一种在微纳米尺度空间中对流体进...

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增材制造属于微纳制造吗?
增材制造属于微纳制造吗?

2022-07-06

增材制造技术,通俗来说就是3d打印,是一种三维实体快速自由成形制造的新技术。那它属于微纳制造吗?它结合了计算机图形处理,数字化的信息与控制,激...

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