微纳/MEMS加工代工|设计制造「硅时代」

产品与服务

专业为企业提供微纳制造/加工，MEMS设计/加工/研发

MEMS加工

全套的MEMS加工工艺服务—可实现4/6/8英寸以下mems芯片代加工，拥有光刻、离子注入机、CVD、镀膜、刻蚀、晶圆键合、划片、快速退火等芯片制造工艺。

特殊工艺开发

基于MEMS加工方面多年的经验积累——可完美实现客户所提要求，并提供定制化的特殊工艺开发，形成工艺建议和成套解决方案。

高效服务

专业化的MEMS代工服务—在保证工艺质量的前提下，可提供实验加急服务，可大大节约客户等待时间，及时获得实验结果。

测试服务

强大的资源优势—提供更多的测试可能，针对客户特殊的测试需求，实现定制化测试方案设计，设备资源整合以及分析测试结果报告。

快速制版

从瑞典、日本、德国等国引进掩模版直写光刻制作系统及检查测量设备，强大的生产能力可实现三天交付，为客户提供集掩模版设计、研发、制作为一体的专业服务。

关于我们

苏州硅时代电子科技有限公司（Si-Era），位于国内最大的MEMS产业集聚区——苏州纳米城。利用MEMS领域近20年的技术积累，在MEMS传感器、生物MEMS、光学MEMS以及射频MEMS方面都拥有大量的设计和工艺经验。
基于成熟的设计及工艺团队，苏州硅时代面向MEMS领域，提供全方位的技术服务。可提供MEMS芯片定制设计开发、集成电路芯片设计、MEMS芯片工艺验证、MEMS芯片小批量试制、MEMS芯片中试化量产、MEMS芯片封装方案设计等系统解决方案，也提供MEMS设计、加工、测试等单步或多步工艺实验开发。

新闻

mems热电堆芯片加工

2022-05-20

常见的MEMS设计热电堆传感器有封闭膜式和悬臂梁式。传统热电堆芯片采用湿法腐蚀工艺，CMOS-MEMS热电堆芯片则采用干法腐蚀工艺。

05.20

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05.05

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微纳制造技术在传感器的应用

微纳制造技术是建筑纳米科技大厦的基石之一，其在传感器上的应用成果即MEMS传感器...

04.12

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　　mems设计之硅压阻式压力传感器，顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器，其...

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03.02

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mems代工之表面微机械加工

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