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Testing service

薄膜应力测试
仪器简介:
薄膜应力仪,系统采用非接触MOS激光技术;不但可以对薄膜的应力、表面曲率和翘曲进行精确的测量,而且还可二维应力Mapping成像统计分析;同时可精确测量应力、曲率随温度变化的关系;
技术参数:
1.XY双向程序控制扫描平台扫描范围:300mm;2m (XY)(可选); 
2.扫描速度:20mm/s(x,y); 
3. XY双向扫描平台扫描*小步进/分辨率:1 μm; 
4.平均曲率分辨率:2×10-5 1/m (1-sigma); 
5.中心曲率测量范围:Minimum Concave: 2.0m,Minimum Convex: -2.0m; 
                               Maximum Concave: 50km Maximum Convex: - 50km; 
6.应力测量精度:1% 或0.32MPa; 
7.中心应力测量范围:Minimum Concave: 0.32MPa Minimum Convex: 0.32MPa; 
                               Maximum Concave: 7.80 GPa Maximum Convex: 7.80 GPa
8.应力测量分辨:0.32MPa;
9.平均应力重复性:0.02MPa;
10.Bow测量高度:0.67mm;
11.Bow测量分辨率:30nm;



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