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薄膜应力测试

仪器简介：
薄膜应力仪，系统采用非接触MOS激光技术；不但可以对薄膜的应力、表面曲率和翘曲进行精确的测量，而且还可二维应力Mapping成像统计分析；同时可精确测量应力、曲率随温度变化的关系；
技术参数：
1.XY双向程序控制扫描平台扫描范围：300mm；2m (XY)（可选）；
2.扫描速度：20mm/s（x,y）；
3. XY双向扫描平台扫描*小步进/分辨率：1 μm；
4.平均曲率分辨率：2×10-5 1/m (1-sigma)；
5.中心曲率测量范围：Minimum Concave: 2.0m，Minimum Convex: -2.0m;
Maximum Concave: 50km Maximum Convex: - 50km;
6.应力测量精度：1% 或0.32MPa;
7.中心应力测量范围：Minimum Concave: 0.32MPa Minimum Convex: 0.32MPa；
Maximum Concave: 7.80 GPa Maximum Convex: 7.80 GPa
8.应力测量分辨：0.32MPa;
9.平均应力重复性：0.02MPa；
10.Bow测量高度：0.67mm；
11.Bow测量分辨率：30nm；

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