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薄膜厚度测试

应用:
–可以测量最大5层重叠薄膜的厚度和折射率。
–可测量如氧化物，氮化物，光阻，导电玻璃，聚合物和半导体薄膜等透明或半透明薄膜。
主要技术指标参数:
–对特定的介电质测量厚度范围20纳米到150微米。
–对特定的材料厚道测量精度小于厚度的百分之一。
–测量波长范围350纳米到1450纳米。
–自动测量点定位的功能，电机驱动的样品台最大可满足直径200毫米样品使用。
–有完备的光学参数数据库可供调用。

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