测试服务

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Testing service

表面形貌测试
探针式表面轮廓仪:
P-7 是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统,历经技术积累和不断迭代更新,集合众多技术优势。P-7建立在市场P-17台式探针轮廓分析系统 的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针 轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲 度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
主要功能
台阶高度:几纳米至1000μm
微力恒力控制:0.03至50mg
样品全直径扫描,无需图像拼接 ? 视频:500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
生产能力:通过测序,模式识别和SECS / GEM实现全自动化


快速退火工艺(一)
快速退火工艺(一)

2023-11-17

快速热退火是用各种热辐照源,直接照射在样品表面上,迅速将样品加热至700~1200℃左右在几秒~几十秒的时间内完成退火。它与常规热退火相比,有下列优点...

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离子镀膜
离子镀膜

2023-10-16

离子镀是一种在真空环境中,利用高压气体放电将镀料蒸发后离子化,沉积在产品表面形成一层镀膜的工艺。  离子镀工艺出现于上世纪70年代,是一种...

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常规ICP刻蚀的操作流程
常规ICP刻蚀的操作流程

2023-10-13

(一)装片:1,在Pump 界面点击左边Pump 图标下Stop,切换至Vent ,120s 后打开 Loadlock;2,涂抹真空油脂:根据片子尺寸大小,在托盘上涂抹...

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分子束外延的技术难点
分子束外延的技术难点

2023-10-09

分子束外延是50年代用真空蒸发技术制备半导体薄膜材料发展而来的。随着超高真空技术的发展而日趋完善,由于分子束外延技术的发展开拓了一系列崭新的超...

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