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2025-07-21
在MEMS器件的制造流程中，牺牲层去除工艺始终是决定器件良率与可靠性的关键环节。这一过程的核心挑战在于：如何在释放可动微结构的同时，避免因机...
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2025-08-22
1.现有工艺复用优先原则 2，新工艺开发的成本-风险模型 1.腐蚀液配方设计三原则 原则2——工艺窗口宽泛化：±2℃时腐蚀速率变化<5%；HCl体系pH...
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2025-05-23
在化学机械抛光（CMP）工艺中，Dishing（凹陷）和Erosion（腐蚀）是两种常见的表面缺陷，其区别、成因、影响及解决方法如下： 一、Dishing与Er...
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2025-06-16
一、什么是All-in-One Etch？ 一体化刻蚀（All-in-One Etch, AIO）是一种将多步骤刻蚀工艺整合至单一工序的技术。与传统分步刻蚀不同，AIO通...
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