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SEM（扫描电子显微镜）

设备描述：
此设备为紧凑型场发射扫描电镜，成像分辨率优于10nm。低加速电压成像，有效减少电荷累积，非导电样品，无须喷金喷碳处理，便可直接进行观察。
工艺能力：
• 电子枪：场发射电子源
• 加速电压：0.5 to 2 kV
• 束流：0.2 to 1 nA
• 分辨率：<10 nm （@1kV）
• 放大倍数：250 to 130,000x (2048×2048pixels)
• 样品尺寸：最大 100×60 mm
• 样品高度：最大 30 mm

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