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EMMI(微光显微镜)
EMMI(微光显微镜)

对于失效分析而言,微光显微镜是一种相当有用,且效率极高的分析工具,主要侦测IC内部所放出光子。在IC原件中,EHP Recombination会放出光子,例如:在PN Junction加偏压,此时N的电子很容易扩散到P, 而P的空穴也容易扩散至N,然后与P端的空穴做EHP Recombination。


侦测到亮点之情况:

1.漏电结;2.解除毛刺;3.热电子效应;4.闩锁效应; 5.氧化层漏电;6.多晶硅须;7.衬底损失;8.物理损伤等。


测试内容:

1.P-N接面漏电,P-N接面崩溃;

2.饱和区晶体管的热电子;

3.氧化层漏电流产生的光子激发;

4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD。

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离子镀膜
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