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案例展示
纳米线@PMMA CD 8nm 二维光栅 with CD 50nm 变直径纳米盘 误差±5nm Φ100um 光波导 线宽700nm
2022-05-05
微纳制造技术是建筑纳米科技大厦的基石之一，其在传感器上的应用成果即MEMS传感器，包括压力传感器，加速度传感器，图像传感器等。这些传感器在医...
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2022-04-12
mems设计之硅压阻式压力传感器，顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器，其原理是敏感膜受压后发生形变，引起惠斯通电桥的不平衡变化，继而...
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2022-04-01
微纳加工技术是当今时代最重要的技术之一，历史虽然不长，但发展迅速。从实际应用来看，主要可分为两大类，硅基微机械加工技术和非硅基微机械加工技术...
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