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微纳加工中EMI溅射镀膜的特点

点击量：638 日期：2023-02-21 编辑：硅时代

微纳加工中的EMI：是电磁波会与电子元件作用，产生干扰现象。它有以下几个特点：
A、如果国内拥有自主知识产权的话，价格相比较更低。
B、更加环保，真空溅射属于环保制程，可以做到无污染。
C、虽然真空溅射加工的金属薄膜厚度只有0.5～2µm，但不会影响装配。
D、在材料选择上没有限制，在常见的常温固态导电金属及有机材料、绝缘材料皆可使用。
E、EMI膜质致密均匀、膜厚容易控制。
F、被溅射基材几无限制。
G、它的附著力强（可用ASTM3599的方法测试4B）。
H、可同时搭配多种不同溅射材料之多层膜，且可随客户指定变换镀层次序。
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