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MEMS代工工艺之湿度传感器

点击量：1535 日期：2021-09-18 编辑：硅时代

　　MEMS代工的湿度传感器是由简单的湿敏电阻（电容）制作而成，湿敏电阻和湿敏电容测量湿度的原理呢？则是由湿敏电阻上面覆盖的一层高分子膜，这层膜会随着湿度的变化影响电阻的电导值或者电容的电容值，利用这种特性可以完成湿度传感器对环境湿度的测量。

　　湿敏元器件可以分为：电阻器式和电容传感器二种：

１、湿敏电阻的特性是在基片上遮盖一层用感湿原材料做成的膜，当空气中的水蒸汽吸咐在感湿膜上时，元器件的电阻和阻值都产生变化，运用这一特点就可以测量湿度；

2、湿敏电容器一般是用高分子材料薄膜电容做成的，常见的纤维材料有聚乙烯、聚酰亚胺膜、酪酸醋酸纤维等。当自然环境湿度发生改变时，湿敏电容器的导热系数产生变化，使其容量也产生变化，其电容器变化量与相对性湿度正比。
　　MEMS悬臂梁结构湿度传感器工艺如下图所示：