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飞秒激光微纳制造技术

点击量：1629 日期：2022-06-28 编辑：硅时代

飞秒激光微纳加工制造技术是以微电子，微光学，微机械为核心的，集现代光学，电子学，材料学，激光技术，精密机械，计算机技术等多门技术于一体的，是飞秒激光应用技术领域的研究重点。就目前各个大学的研究现状来看，飞秒激光微纳制造目前已经形成了各自不同的激光与物质相互作用机制，具体包括微爆炸机制，热熔机制，色心与缺陷机制等等。中国科技大学在飞秒激光双光子光聚合微细加工研究方面具有代表性。