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MEMS代工的压力传感器设计制造步骤

点击量：1126 日期：2022-07-23 编辑：硅时代

MEMS代工的压力传感器是一种薄膜元件，它在受到外部的压力时会发生变形，可以通过电容感测两个面之间的距离变化来加以测量，通常应用于汽车行业，医疗市场和工业领域。MEMS压力传感器是具有电源，接口电器，执行器，微型传感器和信号处理的微型机电系统，尺寸小，性价比高。