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微纳加工制造用超高纯电子气体

点击量：536 日期：2022-08-16 编辑：硅时代

“微纳加工制造用超高纯电子气体”是国家在2017年度重点研发计划，是由多家企业和多所高校联合申请，该项目研究很大程度上可以促进微纳电子制造用战略性先进材料的国产化电子气体在半导体领域应用十分广泛，在薄膜，光刻，刻蚀，掺杂，气相沉积以及扩散等环节都有所应用，是支撑半导体发展必不可少的基础性原材料。

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