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光学微纳制造技术是什么?

点击量:9 日期:2022-09-23 编辑:硅时代

芯片制造的核心是光学微纳加工,它的参数包括:分辨力、套刻精度、视场、加工速度等等。光学微纳加工的作用便是将掩膜版上的图形转移到代加工的基片上。由于传统技术常受限于光学衍射极限,原来主要是通过缩短光源的波长,用来增大光学系统中物镜的数值孔径来提高分辨力,但这仍然存在很大的极限。目前,光学微纳制造加工技术面临着的新的基于和挑战,未来仍有一断很长的路要走。



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