MEMS加工

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激光制版
  • 掩膜版设计仿真
    各种尺寸定制掩膜版设计。
  • 器件级仿真
    可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析。
  • 工艺级仿真
    结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。
  • 系统级仿真
    可有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。
  • 建模工具
    设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。
  • 掩膜版制作
    各种尺寸( 2”,3”、4”、5”、6”、7” )铬版制作。








案例展示


                          

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微纳技术制造的未来发展与趋势
微纳技术制造的未来发展与趋势

2022-12-15

制造业的发展,目前对加工精度的的要求越来越高,微纳制造伴随着应运而生。截至到目前为止,微纳技术在国防军工及民用产品已经得到广泛应用,特别体现...

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MEMS设计微流控芯片
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2022-07-15

微流控芯片我们常见的特点就是可以多种单元技术在整体可控的微小平台上灵活组合,规模集成。MEMS设计微流控芯片是一种在微纳米尺度空间中对流体进...

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增材制造属于微纳制造吗?
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2022-07-06

增材制造技术,通俗来说就是3d打印,是一种三维实体快速自由成形制造的新技术。那它属于微纳制造吗?它结合了计算机图形处理,数字化的信息与控制,激...

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飞秒激光微纳制造技术
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2022-06-28

飞秒激光微纳加工制造技术是以微电子,微光学,微机械为核心的,集现代光学,电子学,材料学,激光技术,精密机械,计算机技术等多门技术于一体的,是...

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