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MEMS加工

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激光制版
  • 掩膜版设计仿真
    各种尺寸定制掩膜版设计。
  • 器件级仿真
    可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析。
  • 工艺级仿真
    结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。
  • 系统级仿真
    可有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。
  • 建模工具
    设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。
  • 掩膜版制作
    各种尺寸( 2”,3”、4”、5”、6”、7” )铬版制作。








案例展示


                          

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mems热电堆芯片加工
mems热电堆芯片加工

2022-05-20

常见的MEMS设计热电堆传感器有封闭膜式和悬臂梁式。 传统热电堆芯片采用湿法腐蚀工艺,CMOS-MEMS热电堆芯片则采用干法腐蚀工艺。

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微纳制造技术在传感器的应用
微纳制造技术在传感器的应用

2022-05-05

微纳制造技术是建筑纳米科技大厦的基石之一,其在传感器上的应用成果即MEMS传感器,包括压力传感器,加速度传感器,图像传感器等。这些传感器在医...

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mems设计之硅压阻式压力传感器设计
mems设计之硅压阻式压力传感器设计

2022-04-12

  mems设计之硅压阻式压力传感器,顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器,其原理是敏感膜受压后发生形变,引起惠斯通电桥的不平衡变化,继而...

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微纳加工三个主流技术
微纳加工三个主流技术

2022-04-01

微纳加工技术是当今时代最重要的技术之一,历史虽然不长,但发展迅速。从实际应用来看,主要可分为两大类,硅基微机械加工技术和非硅基微机械加工技术...

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