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全球刻蚀设备市场
点击量：252 日期：2023-08-15 编辑：硅时代
目前，全球刻蚀机设备的参与者相对较少，行业整体处于寡头垄断格局。主要的参与者包括美国的Lam Research（泛林半导体）、AMAT（应用材料）、日本的TEL（东京电子）等企业。此三家企业占据全球半导体刻蚀机的94%的市场份额，而其他参与者合计仅占6%。其中，Lam Research占比高达55%，为行业的绝对龙头。东京电子与应用材料分别占比20%和19%。
介质刻蚀方面，东京电子占比较高。东京电子一直以来都以CCP刻蚀机为主要出货产品，其占到CCP刻蚀机总出货量的一半以上。我国企业中微公司在2017年的市场份额达到2.5%，近几年由于国内存储产线的大规模建设，中微公司的市场份额亦有提升。硅刻蚀方面，Lam Research占据较高份额，其在两类刻蚀机中均有较大出货量，应用材料在硅刻蚀方面也有出货。
从国内刻蚀机市场来看，Lam Research依然稳定占据龙头地位。而我们也可以看到国产企业中微公司的身影。中微公司的介质刻蚀机主要供应国内晶圆产线和存储产线，整体占比15%，若单算介质刻蚀的市场份额，中微公司达到25%的水平。近年来中微公司在介质刻蚀设备的突破显著，目前也已经打入台积电先进制程产线。
整体看，由于刻蚀机工艺技术壁垒较高，尤其是先进制程设备下游客户要求较高，相关核心技术仅有少数厂商突破，并且在技术持续更替中，没有能力持续研发的企业的竞争力逐渐下降，导致份额逐步压缩，最终仅有头部企业参与竞争，形成寡头垄断格局。我国企业中微公司在国家大力扶持以及公司不断研发投入，在我国刻蚀机市场份额不断增长，已经仅次于LAM Research。
