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Mems加工工艺和微纳加工哪个好
点击量:1504 日期:2020-07-18 编辑:硅时代
Mems加工工艺和微纳加工大体上都是一样的,只是表述不一样而已,MEMS即是微机械电子系统,大多时候等同于微纳系统是根据产品需要,在各类衬底(硅衬底,玻璃衬底,石英衬底,蓝宝石衬底等等)制作微米级微型结构的加工工艺。微纳传感器加工工艺制作的微型结构主要是作为各类传感器和执行器等,其中更加器件原理需要而制作的可动结构(齿轮,悬臂梁,空腔,桥结构等等)以及各种功能材料,本质上是将环境中的各种特征参数(温度,压力,气体,流量等等)变化通过微型结构转化为各种电信号(电压,电阻,电流等等)的差异,以实现小型化高灵敏的传感器和执行器。
包括以下主要工艺:
牺牲层和结构层的薄膜沉积技术,包括热氧化,CVD,PVD,蒸发等常规IC工艺;
定义图像光刻技术;
牺牲层和结构图形转移的刻蚀技术,包括干法刻蚀和湿法刻蚀两类;
牺牲层去除的释放工艺,包括干法释放和释放释放两类