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MEMS加工和传统机械加工的区别

点击量：2976 日期：2021-11-05 编辑：硅时代

　　在MEMS加工工艺中，从上到毫米，再下到微米的微结构加工技术都可称之为MEMS工艺制造，其在半导体和微电子工艺基础上发展而来，以光刻，镀膜，刻蚀，外延，氧化，溅射等许多基本的工艺制造复杂立体的三维微加工技术。与传统机械系统相比，不仅体现在很小的体积方面，其在力学，运动学，材料特性等方面都有巨大差异！?

图1.1 MEMS工艺制造图

　　但无论哪种微小原件都离不开光刻，刻蚀，镀膜三大方面，就是在一个或多个循环的基础上形成我们想要得到的元器件，在这个过程中又以光刻技术最为重要，所有的MEMS工艺都离不开光刻。光刻的好坏直接影响后续的镀膜刻蚀等工艺成败。因此在光刻过程中尤其注意图形分辨率以及套刻精度等方面的影响。

图1.2 光刻流程示意图

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