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MEMS加工的加速度技术

点击量：1568 日期：2021-11-18 编辑：硅时代

　　MEMS加工的加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速度计目前有两种：一种是角加速度传感器，也叫陀螺仪；另一种是线加速度计。

　　加速度传感器的原理随着其应用不同而出现不同类型的加速度传感器，其分类有压阻式，电容式，压电式，谐振式，伺服式等。

　　压阻式是较早的微型化和商业化的一类加速度传感器。其加工工艺比较简单，主要采用注入、推进、氧化的工艺来制作压敏电阻；采用KOH腐蚀来制作质量块并使用AES来释放梁和质量快，最后采用键合工艺来得到所需的“三明治”结构。