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飞秒激光微纳加工的动力学原理

点击量：1675 日期：2021-11-26 编辑：硅时代

　　由于能量集中度高、热影响区域小、没有残渣飞溅和熔渣、不需要特殊的气体环境、没有后续工艺、双光子聚合加工精度高（精度可达到0.7um）等优势，飞秒激光在精细加工及微纳加工技术的隐形切割方面都取得了很大的进展。

　　根据不同的特性，飞秒激光作用的领域也不尽相同：
1、其热影响区域小，加工精度高可用于表面微加工及纳米级深孔加工工艺；
2、根据其加工精度高，微型化能力强可用于光通信领域中光波导、光栅、光子晶体、微通道等的制备；
3、根据其“冷”加工，能量消耗低、准确度高的优点，可在生物领域有很强的应用前景。

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