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mems热电堆芯片加工

点击量：1063 日期：2022-05-20 编辑：硅时代

常见的MEMS设计热电堆传感器有封闭膜式和悬臂梁式。

传统热电堆芯片采用湿法腐蚀工艺，CMOS-MEMS热电堆芯片则采用干法腐蚀工艺。

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