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微纳制造技术在传感器的应用

点击量:47 日期:2022-05-05 编辑:硅时代

微纳制造技术是建筑纳米科技大厦的基石之一,其在传感器上的应用成果即MEMS传感器,包括压力传感器,加速度传感器,图像传感器等。这些传感器在医疗,汽车电子,运动追踪等领域都有广泛应用。

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