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微纳制造技术在传感器的应用

点击量：1307 日期：2022-05-05 编辑：硅时代

微纳制造技术是建筑纳米科技大厦的基石之一，其在传感器上的应用成果即MEMS传感器，包括压力传感器，加速度传感器，图像传感器等。这些传感器在医疗，汽车电子，运动追踪等领域都有广泛应用。

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