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mems设计之硅压阻式压力传感器设计

点击量：1217 日期：2022-04-12 编辑：硅时代

　　mems设计之硅压阻式压力传感器，顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器，其原理是敏感膜受压后发生形变，引起惠斯通电桥的不平衡变化，继而改变输出电信号。在传感器设计上，为了使传感器具备良好线性输出，要考虑其最大变形量，敏感薄膜表面最大应力差以及敏感芯片的压敏电阻变化率，以满足器件抗过载和输出灵敏度的要求。