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微纳加工三个主流技术

点击量:359 日期:2022-04-01 编辑:硅时代

微纳加工技术是当今时代最重要的技术之一,历史虽然不长,但发展迅速。从实际应用来看,主要可分为两大类,硅基微机械加工技术和非硅基微机械加工技术。
硅基微机械加工技术以体硅微机械加工、表面微机械加工和复合微机械加工三种为主。非硅基微机械加工技术包括有LIGA加工技术、激光微机械加工技术、深等离子体刻蚀技术以及紫外线厚胶刻蚀技术。

随着MEMS加工设备的协同发展,目前复合微机械加工技术、LIGA加工技术和激光微机械加工技术可以说是MEMS加工的三个主流技术。

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