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微纳加工中的图形化工艺激光束

点击量：1795 日期：2020-03-31 编辑：硅时代

微纳米加工的图形化工艺主要分为图形转移和直接加工两种技术，图形转移技术包括三个部分：薄膜沉积，图形成像，图形转移。而直接加工的激光束蚀刻技术具备直写能力，避免的图形转移的多步工艺，通过控制聚焦的高能激光（短波/脉冲）束直接在刻蚀材料制作微细结构，具备微米/亚微米的薄膜蚀刻加工精度，适用于多种材料，实现三维的微结构的制作。