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加速度计mems加工工艺
点击量：1461 日期：2020-04-07 编辑：硅时代
MEMS加速度传感器是一个力传感器，通过测量固定质量块在受到加速度作用时产生的力来测得加速度，包括弹性梁、质量块、固定框几个部分，其加速度计MEMS加工加工工艺如下：
1.
制作压敏电阻，需要用到离子注入工艺、热推井工艺、热氧化工艺的等掺杂工艺;
2.
制作质量块，需要用到干法深硅刻蚀工艺和湿法KOH硅腐蚀工艺等体加工工艺;
3.
释放梁和质量块,需要用到干法和湿法释放工艺;
4. 制作“三明治”结构，利用键合工艺来实现.
