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mems代加工服务的地方

点击量：1283 日期：2020-05-19 编辑：硅时代

MEMS代加工服务商分为IDM厂商提供的MEMS代工和纯MEMS代工厂：

IDM厂商提供的MEMS代工包括博世、意法半导体、索尼、德州仪器等

纯MEMS代工厂主要分为以下三类：

1. 大批量量产MEMS代工厂

国外代工厂：Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Paciﬁc Microsystems，X-FAB ，Innovative Micro Technology等

国内代工厂：台积电，中芯国际，华宏宏力，华润上华等；

2. 小批量中试线：苏州纳米城6寸MEMS中试线，上海新微8寸MEMS中试线，淄博6寸MEMS中试线等；

3. 研发产品开发工艺平台：北京微电子所加工平台,苏州纳米所加工平台，上海微系统所加工平台，上海交通大学先进电子材料与器件校级平台等高校和研究所对外开放工艺平台。