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mems传感器的加工尺寸

点击量:402 日期:2022-03-15 编辑:硅时代

  mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写,意为微机电系统。

  mems传感器就是利用mems技术制造的传感器。mems加工通常是由1-100μm的部件组成,微机电设备的尺寸大多是20μm-1mm,也代表mems传感器体积更能适应智能设备的小型化需求,mems传感器的加工尺寸长宽高也都在毫米级别。




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