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2022-04-12
mems设计之硅压阻式压力传感器,顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器,其原理是敏感膜受压后发生形变,引起惠斯通电桥的不平衡变化,继而...
2022-03-26
MEMS器件常用的MEMS加工方法主要有表面微加工,体硅微加工,LIGA,SOI等。 1、表面微加工:一种是在硅衬底表面采用专业方法生成薄膜,并...
2022-03-15
mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写,意为微机电系统。 mems传感器就是利用mems技术制造的传感器。mems加工通常是由...