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News
2023-10-09
分子束外延是50年代用真空蒸发技术制备半导体薄膜材料发展而来的。随着超高真空技术的发展而日趋完善,由于分子束外延技术的发展开拓了一系列崭新的超...
2023-10-07
当离子轰击进入硅衬底后,与晶格原子碰撞将逐渐失去能量,最后停留在硅衬底内。有两种阻滞机制,一种是注入的离子与晶格原子的原子核发生碰撞,经过这...
2023-09-26
MEMS器件在射频比如无线通信上有很好的应用。RF MEMS谐振器和诱导器品质因子在微波上有大幅度提高。MEMS开关极大地改进了高频性能和降低...
2023-09-25
压力传感器是触觉传感的核心部件,是一种精度高、灵敏强的传感器件,在机器人、钢铁化工、智慧城市等领域都有广泛的应用。目前市场上的压力传感器可大...
2023-09-21
激光加工技术是利用激光束与物质相互作用的特性,对材料(包括金属与非金属)进行切割、焊接、表面处理、打孔及微加工等的一门加工技术。 激光加工技术...
国际上,柔性微纳制造技术主要包括纳米压印技术和3D、4D打印技术。上世纪90年代提出的纳米压印技术利用光刻胶辅助将模板上的微纳结构通过刻蚀传递工...