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News
2023-08-17
双重曝光(Double Exposure, DE)是指在光刻胶覆盖的晶片上分别进行两次曝光。两次曝光是在同样的光刻胶上进行的,但使用不同的掩模版。 双重曝光工...
2023-08-17
刻蚀剖面指的是被刻蚀图形的侧壁形状。有两种基本的刻蚀剖面:各向同性和各向异性刻蚀剖面。各向同性的刻蚀剖面是在所有方向上(横向和纵向)以相同的...