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  • 蓝宝石衬底加工工艺
    蓝宝石衬底加工工艺

    2023-08-04

    蓝宝石单晶,是纯净的三氧化二铝(α-Al2O3),具有极好的热导性、电气绝缘性、透光性、化学稳定性,以及耐高温、高强度、高硬度等一系列优良的特性...

  • 聚焦离子束技术及其在微纳加工技术中的应用
    聚焦离子束技术及其在微纳加工技术中的应用

    2023-08-04

    聚焦离子束(FIB)技术是将离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后作用到样品表面并进行纳米加工。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、切割和故...

  • 离子束刻蚀(IBE)技术研究
    离子束刻蚀(IBE)技术研究

    2023-08-03

    1.离子束刻蚀(IBE)技术的原理? 离子束刻蚀(IBE,Ion Beam Etching)也称为离子铣(IBM,Ion Beam Milling),也有人称之为离子溅射刻...

  • 混合键合
    混合键合

    2023-08-03

    晶圆键合是近十几年快速发展起来的新兴半导体加工技术,在MEMS,CIS和存储芯片等领域有着重要的应用,得到越来越多的关注。 在信息的海洋中,晶...

  • 光刻的性能指标
    光刻的性能指标

    2023-08-02

    1. 特征尺寸 特征尺寸又称为线宽(CD, critical dimension)。通常大家听到的7 nm制程、14 nm制程中的7nm和14nm指的便是芯片的线宽。线宽指的是在...

  • 各种溅射工艺的对比
    各种溅射工艺的对比

    2023-08-02

    1. 直流溅射DCPVD:靶材只能是导体,主要用于沉积金属栅。DCPVD是利用电场加速带电离子,使离子和靶材表面原子碰撞,将后者溅射出来射...

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