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2023-08-09
1.离子束刻蚀(IBE)技术的原理? 离子束刻蚀(IBE,Ion Beam Etching)也称为离子铣(IBM,Ion Beam Milling),也有人称之为离子溅射刻...
2023-08-09
刻蚀剖面指的是被刻蚀图形的侧壁形状。有两种基本的刻蚀剖面:各向同性和各向异性刻蚀剖面。各向同性的刻蚀剖面是在所有方向上(横向和纵向)以相同的...