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2023-08-04
聚焦离子束(FIB)技术是将离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后作用到样品表面并进行纳米加工。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、切割和故...
2023-08-03
1.离子束刻蚀(IBE)技术的原理? 离子束刻蚀(IBE,Ion Beam Etching)也称为离子铣(IBM,Ion Beam Milling),也有人称之为离子溅射刻...
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