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新闻
News
2022-06-10
MEMS传感器也称作是微机电系统,它涉及多门学科,综合性比较强,应用前景广阔,是当今备受瞩目的领域之一。 MEMS设计是长期技术经验的结晶,有...
2022-06-02
激光微纳制造技术是微纳制造技术的重要部分,涉及光学,物理,材料,化学,生物,机械,控制等多门学科,综合性较强。它具体是指激光与材料在某种特定...
2022-05-26
基于制造业对加工精度的要求日益提高,微纳加工技术应运而生,从诞生至今,其应用领域得到了很大扩展。就国内而言,微纳技术除了应用在微电子技术,生...
2022-05-20
常见的MEMS设计热电堆传感器有封闭膜式和悬臂梁式。 传统热电堆芯片采用湿法腐蚀工艺,CMOS-MEMS热电堆芯片则采用干法腐蚀工艺。
2022-05-05
微纳制造技术是建筑纳米科技大厦的基石之一,其在传感器上的应用成果即MEMS传感器,包括压力传感器,加速度传感器,图像传感器等。这些传感器在医...
2022-04-12
mems设计之硅压阻式压力传感器,顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器,其原理是敏感膜受压后发生形变,引起惠斯通电桥的不平衡变化,继而...