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新闻
News
2021-12-11
mems传感器要处于最佳工作状态,需要通过各种软件对测量过程进行管理和调节,并对数据进行各种处理,进而增加传感器功能,提高其性能指标。高质...
2021-12-03
聚焦离子束(FIB)技术是将离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后作用到样品表面并进行纳米加工。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、切割...
2021-11-26
由于能量集中度高、热影响区域小、没有残渣飞溅和熔渣、不需要特殊的气体环境、没有后续工艺、双光子聚合加工精度高(精度可达到0.7um)等优势,...
2021-11-18
MEMS加工的加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速度计目前有两种:一种是角加速度传感器,也叫陀螺仪;另一种是线加速度计。 ...
2021-11-05
在MEMS加工工艺中,从上到毫米,再下到微米的微结构加工技术都可称之为MEMS工艺制造,其在半导体和微电子工艺基础上发展而来,以光刻,镀...
2021-10-29
微纳制造作为国家新兴产业发展的重大关键技术之一,对国家装备实力和国民经济技术的发展起到重要作用。微纳制造技术的进步,推动着三大前沿科技的...