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2021-04-30
MEMS加工平台的全称是微型电子机械系统(MicroElectromechanicalSystem),是利用传统的半导体工艺和材料,集微传感器、微执行器、微机械机构、...
2020-12-18
mems器件加工是根据产品需要,在各类衬底(硅衬底,玻璃衬底,石英衬底,蓝宝石衬底等等)制作微米级微型结构的加工工艺。微纳传感器加工工艺制作的...