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  • mems加工技术工艺与ic工艺区别
    mems加工技术工艺与ic工艺区别

    2020-06-08

    MEMS加工技术工艺是根据产品需要,在各类衬底(硅衬底,玻璃衬底,石英衬底,蓝宝石衬底等等)制作微米级微型结构的加工工艺。而ic工艺则侧重于半...

  • 国内靠谱的mems代工厂
    国内靠谱的mems代工厂

    2020-05-22

    国内MEMS代工厂分为IDM(垂直整合制造)MEMS代工和纯MEMS代工厂。 IDM厂主要制造自己产品,同时也会利用富余产能对外代工服务,国内靠...

  • 微纳加工氧化工艺目的-【硅时代】苏州纳米所微纳加工平台
    微纳加工氧化工艺目的-【硅时代】苏州纳米所微纳加工平台

    2020-05-22

    微纳加工氧化工艺是在高温下,衬底的硅直接与O2发生反应生成SiO2,后续O2通过SiO2层扩散到Si/SiO2界面,继续与Si发生反应增加SiO2薄膜的厚...

  • mems代加工服务的地方
    mems代加工服务的地方

    2020-05-19

    mems加工,mems代工服务的地方 MEMS代加工服务商分为IDM厂商提供的MEMS代工和纯MEMS代工厂: IDM厂商提供的MEMS代工包括博世...

  • 加速度计mems加工工艺
    加速度计mems加工工艺

    2020-04-07

    MEMS加速度传感器是一个力传感器,通过测量固定质量块在受到加速度作用时产生的力来测得加速度,包括弹性梁、质量块、固定框几个部分,其加速度计...

  • 微纳加工中的图形化工艺 激光束
    微纳加工中的图形化工艺 激光束

    2020-03-31

    微纳米加工的图形化工艺主要分为图形转移和直接加工两种技术,图形转移技术包括三个部分:薄膜沉积,图形成像,图形转移。而直接加工的激光束蚀刻技术...

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