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2020-06-08
MEMS加工技术工艺是根据产品需要,在各类衬底(硅衬底,玻璃衬底,石英衬底,蓝宝石衬底等等)制作微米级微型结构的加工工艺。而ic工艺则侧重于半...
2020-05-22
微纳加工氧化工艺是在高温下,衬底的硅直接与O2发生反应生成SiO2,后续O2通过SiO2层扩散到Si/SiO2界面,继续与Si发生反应增加SiO2薄膜的厚...
2020-05-19
mems加工,mems代工服务的地方 MEMS代加工服务商分为IDM厂商提供的MEMS代工和纯MEMS代工厂: IDM厂商提供的MEMS代工包括博世...
2020-03-31
微纳米加工的图形化工艺主要分为图形转移和直接加工两种技术,图形转移技术包括三个部分:薄膜沉积,图形成像,图形转移。而直接加工的激光束蚀刻技术...