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2020-03-14
LIGA与准LIGA技术 1986年德国W.Ehrfeld教授首先开发了进行三维微细加工最有前途的方法——LIGA技术。 ——LI,Lithographier,即深度X射...
2020-02-21
MEMS即Micro-Electro-Mechanical System,它是以微电子、微机械及材料科学为基础,研究、设计、制造、具有特定功能的微型装置,包括微结构器...