公司新闻 - 苏州硅时代_微纳加工|MEMS加工|MEMS代工|器件封装|MEMS一站式解决专家

MEMS加工技术的主要工艺与流程
2020-03-14

1、体加工工艺体加工工艺包括去加工（腐蚀）、附着加工（镀膜）、改质加工（掺杂）和结合加工（键合）。主要介绍腐蚀技术。腐蚀技术主要包括干法腐蚀...
LIGA与准LIGA技术
2020-03-14

LIGA与准LIGA技术 1986年德国W.Ehrfeld教授首先开发了进行三维微细加工最有前途的方法——LIGA技术。 ——LI，Lithographier，即深度X射...
MEMS技术发展历程
2020-03-13

MEMS研究的历史 MEMS技术被誉为21世纪带有革命性的高新技术，它的诞生和发展是“需求牵引”和“技术推动”的综合结果。随着人类社会全...
SLIGA技术
2020-02-21

SLIGA技术是H.Guckle教授等人结合硅面加工技术和常规LIGA技术而开发出的一种新工艺。在这个工艺中，牺牲层用于加工...
微纳加工技术的概念有哪些
2020-02-21

MEMS即Micro-Electro-Mechanical System，它是以微电子、微机械及材料科学为基础，研究、设计、制造、具有特定功能的微型装置，包括微结构器...
MEMS研究的历史
2020-02-21

MEMS技术被誉为21世纪带有革命性的高新技术，它的诞生和发展是“需求牵引”和“技术推动”的综合结果。随着人类社会全面向信息化迈进，信息系统的...