微特云办公系统
电话：15301560529
新闻
News
2020-03-31
微纳米加工的图形化工艺主要分为图形转移和直接加工两种技术，图形转移技术包括三个部分：薄膜沉积，图形成像，图形转移。而直接加工的激光束蚀刻技术...
2020-03-26
微纳加工工艺沉积SiO2薄膜主要通过氧化和cvd两种工艺方法。 氧化工艺是在高温下，衬底的硅直接与O2发生反应生成SiO2，后续O2通过SiO2层扩散到...
2020-03-24
微机电工程系统（MicroelectromechanicalSystems，简称为MEMS）是将微电子技术与机械工程结合到一起的一种工业技术，它的操作范围在μm范围之...
2020-03-23
mems加工表面加工工艺是基于衬底表面进行微结构制作的工艺，加工过程不需要对衬底进行的去除或刻蚀，衬底主要用途是支撑微结构。 MEMS表面加工工...
