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  • 微纳加工三个主流技术
    微纳加工三个主流技术

    2022-04-01

    微纳加工技术是当今时代最重要的技术之一,历史虽然不长,但发展迅速。从实际应用来看,主要可分为两大类,硅基微机械加工技术和非硅基微机械加工技术...

  • MEMS器件最常用的加工方法
    MEMS器件最常用的加工方法

    2022-03-26

    MEMS器件常用的MEMS加工方法主要有表面微加工,体硅微加工,LIGA,SOI等。 1、表面微加工:一种是在硅衬底表面采用专业方法生成薄膜,并...

  • mems传感器的加工尺寸
    mems传感器的加工尺寸

    2022-03-15

      mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写,意为微机电系统。   mems传感器就是利用mems技术制造的传感器。mems加工通常是由...

  • mems代工之表面微机械加工
    mems代工之表面微机械加工

    2022-03-02

          MEMS代工之表面微机械加工是以硅片为基体,通过膜淀积和图形加工制备三维微机械结构。硅片本身不被加工,器件的结构部分...

  • cmos设计和mems设计的区别
    cmos设计和mems设计的区别

    2022-01-12

      CMOS被称为互补金属氧化物半导体,是IC集成电路制造工艺中的一种,使用广泛。   MEMS中文名微电子机械系统,是具备独立功能的智能系统...

  • MEMS设计表面微加工存在的力学问题
    MEMS设计表面微加工存在的力学问题

    2021-12-25

    MEMS设计表面微加工指通过沉积多层薄膜和图形制备三维微机结构的一种加工方式。其常用的薄膜材料主要有:多晶硅,氮化硅,氧化硅, PSG(磷硅酸...

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