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2022-03-26
MEMS器件常用的MEMS加工方法主要有表面微加工,体硅微加工,LIGA,SOI等。 1、表面微加工:一种是在硅衬底表面采用专业方法生成薄膜,并...
2022-03-15
mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写,意为微机电系统。 mems传感器就是利用mems技术制造的传感器。mems加工通常是由...
2021-12-25
MEMS设计表面微加工指通过沉积多层薄膜和图形制备三维微机结构的一种加工方式。其常用的薄膜材料主要有:多晶硅,氮化硅,氧化硅, PSG(磷硅酸...