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2023-08-28
(2)热压法 热压法(hot embossing)是一种应用较广泛的快速复制电泳微通道的芯片制作技术,适用于PMMA与PC等热塑性聚合物材料。热压法的模具...
2023-08-25
(二)硅表面微机械加工技术 美国加州大学Berkeley分校的Sensor and Actuator小组首先完成了三层多晶硅表面微机械加工工艺,确立了硅表面微加工工艺...
2023-08-22
刻蚀偏差是指刻蚀以后线宽或关键尺寸间距的变化(见图1)。它通常是由于横向钻刻引起的(见图2),但也能由刻蚀剖面引起。当刻蚀中要去除掩模下过量的...