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  • 等离子体刻蚀面临的挑战
    等离子体刻蚀面临的挑战

    2023-08-21

    近几十年来,等离子刻蚀技术已取得了长足发展。利用等离子刻蚀技术,人们得以准确地雕刻器件结构,从而为晶体管尺寸的缩小以及性能的提升提供了保障。...

  • 离子注入与传统热扩散工艺区别
    离子注入与传统热扩散工艺区别

    2023-08-18

    离子注入工艺是集成电路制造的主要工艺之一,它是指将离子束加速到一定能量(一般在keV 至Mev 量级范围内),然后注入固体材料表层内,以改变材料表层...

  • 电镀有几种
    电镀有几种

    2023-08-18

    1、五金电镀 分为常规五金包括铜、镍、硌;高级五金包括金、银;贵族五金包括金刚石、砖石。分别有挂镀、滚镀、龙门镀,金、银一般是以首饰挂镀为主,...

  • 双重曝光 Double Exposure (DE)
    双重曝光 Double Exposure (DE)

    2023-08-17

    双重曝光(Double Exposure, DE)是指在光刻胶覆盖的晶片上分别进行两次曝光。两次曝光是在同样的光刻胶上进行的,但使用不同的掩模版。 双重曝光工...

  • 刻蚀剖面 Etch Cross-section
    刻蚀剖面 Etch Cross-section

    2023-08-17

    刻蚀剖面指的是被刻蚀图形的侧壁形状。有两种基本的刻蚀剖面:各向同性和各向异性刻蚀剖面。各向同性的刻蚀剖面是在所有方向上(横向和纵向)以相同的...

  • 等离子刻蚀的应用案例
    等离子刻蚀的应用案例

    2023-08-16

    等离子刻蚀主要应用在微电子制作工艺中,所有主要的处理对象是硅,用于精确图形转移。此外其还广泛应用于等离子刻蚀平板、薄膜刻蚀以及纤维刻蚀中。 1...

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